다양한 가스 유량 제어 지원 

5...50 l/min 정밀 유량 제어 

아날로그, Modbus-RTU, EtherCAT 지원 

Capillary Thermal  센서를 통한 고정밀 측정 

PI 제어 알고리즘 기반의 빠른 응답 특성 

압력 및 온도 보상 기능 적용 

안정적인 유량 제어 및 반복 정밀도 제공